高純氦氣的純度檢測(cè)通常通過(guò)氣相色譜法或光譜法進(jìn)行。氣相色譜法是將氦氣樣品通過(guò)色譜柱，利用不同組分在色譜柱中的保留時(shí)間差異來(lái)測(cè)定其純度。光譜法則是利用氦氣在特定波長(zhǎng)下的吸收特性來(lái)測(cè)定其純度。這些方法都需要使用的設(shè)備和標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。在實(shí)際應(yīng)用中，高純氦氣的純度檢測(cè)通常由的檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行。
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